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GW28-1E4-1000XXXXXXX0半导体産业用压力表NAGANOKEIKI长野计器NKS
详细信息
GW28-1E4-1000XXXXXXX0半导体産业用压力表NAGANOKEIKI长野计器NKS
小型高纯气压力表
GW28系列
产品描述：
可测量高纯度的半导体气体,可用于存在腐蚀性的空气等恶劣的场合
产品特征
· 产品体积小
· UC超洁净处理
· 半导体行业专用测量高纯气体压力表
GW28-1E4-1000XXXXXXX0半导体産业用压力表NAGANOKEIKI长野计器NKS
规格参数
表盘直径 φ28
测量介质 气体或液体
安装方式 面板安装
连接口径 1/4VCR
接液部材质 波登管 SUS316
底座 SUS316L
压力范围 -0.1-0.2,0.4MPa
-0.1～1MPa
精 度 ± 3%
壳体材质/颜色 SUS316L
处理方式 禁油、禁水 可选择
表盘刻度 刻度样式及颜色可选择
GW28-1E4-1000XXXXXXX0半导体産业用压力表NAGANOKEIKI长野计器NKS
在半导体高纯度气体及腐蚀性气体的气氛等条件下也能发挥优异的性能。
是对气密性·清洗度也充分考虑被制作，半导体工艺等，特别适合高纯度流体的压力计。
特性
φ28大小的小直径类型可帮助节省集成装载的空间。
·由于接气部与以往C形布尔登管相比为单纯的隔膜式，因此清洗和气体冲洗容易是能做的构造。
·与现有产品（小型布尔登管式）相比，接气部内容积约为1/2，气体滞留的地区（接气部内容积）大幅降低。
＊选择压力表时，为了充分发挥性能，将压力范围设为常用压力的上限在以下范围
请选定。
定压力时：压力范围Max.值的3/4以下
变动压力时：压力范围Max.值的2/3以下
另外，请确认记载的接气部材质符合测定流体。
详细情况请看JIS B 7505-1。
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